二、技術(shù)規格及參數

        測試量程：

VMC3020D:300*200*200mm  重量：250kg

          VMC4030D:400*300*200mm  重量：350kg

VMC5040D:500*400*200mm  重量：500kg

玻璃臺承重：15kg

X/Y軸精度（um）：≤3+L/200（L為被測長(cháng)度單位mm）

Z軸精度（um）：≤3+L/100（L為被測長(cháng)度單位mm）

物鏡焦距：82mm

最小顯示值：0.1um

物鏡倍率：0.7-4.5X

顯示器綜合放大倍率（23寸）：約37-237X（可加配2X物鏡，或0.5X目鏡）

控制系統：CNC閉環(huán)控制系統

光源系統：表面光源與透射光源均用LED，亮度可調

操作系統：WIN7/WIN10

主機材質(zhì)：采用00級天然大理石（一體機）

電腦：專(zhuān)用電腦

軟件：INSPEC 2D

光柵尺：金屬光柵尺1.0um

導軌：高精度交叉導軌

絲桿：國產(chǎn)高精度絲桿（臺灣）

電機：國產(chǎn)伺服電機

CCD相機：80W像素模擬相機

表面光：八區程控

激光筆：點(diǎn)紅光（測量時(shí)找樣品位置用）

選配件：Z軸探針、Z軸激光、自動(dòng)變倍鏡頭、地圖導航、同軸光。